工件的平面度是指平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差，測量平面度的方法有多種，如平晶干涉法、打表測量法等，今天我們介紹如何利用三坐標測量儀測量工件的平面度。
三坐標測量儀測量工件平面度是比較常用的測量方法，一般包含以下幾個測量步驟。
1. 操作三坐標機測量并生成欲評定的平面；
2. 用鼠標依次點擊形位公差菜單下的“平面度”選項或點擊“形狀公差”工具條中相應的圖標；
3. 選中將要進行平面度評定的平面并按住鼠標左鍵將其拖拽到元素欄中，再輸入公差，最后點擊“確定”按鈕，即可通過測量軟件得到平面度測量結果。若需要同時輸出結果并顯示單點偏差和形狀誤差的圖形，在相應的項目前打勾即可實現(xiàn)；
4. 測量產品平面度時要注意：平面度只有一種情況，其公差帶為兩平行平面間的區(qū)域。
三坐標測量工件平面度比其他測量方法比較方便和精準，三坐標測量機的測量軟件已經(jīng)按最小條件進行數(shù)據(jù)處理了，所有測量點用最小二乘擬合一個平面,然后整體做半徑補償.平面度計算就算平面兩端最大兩個距離之和。
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